說到半導體設備，在產業新聞中可能常聽到荷蘭設備大廠艾司摩爾（ASML）的EUV（極紫外光）曝光機，它利用光學技術在晶圓上刻出精細電路，於7奈米以下的先進製程中扮演要角，並被視作中美科技戰出口管制目標。最新款的High-NA EUV（高數值孔徑極紫外光）曝光機，1台更是要價約新台幣120億元的天價。
雖然半導體設備供應商多為歐洲、美國、日本大廠，台灣業者的存在感相對有限。事實上，台灣也有發展出本土的半導體設備產業，其產值和出口金額，更高居國內機械設備產業第1名。
根據工研院產科國際所統計數據，2024年台灣電子設備產值為新台幣4,583億元，其中半導體設備產值為1,532億元，占整體產值約3成。展望未來，工研院產科國際所預測至2028年，台灣半導體設備產值將達2,500億元，年複合成長率12.9％，看好國內半導體設備業將持續成長。
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在前段製程設備領域，台灣業者多為替國際設備大廠代工、經銷代理，或生產相關零配件與耗材，以及提供維修保養的技術服務等；由於研發費時且成本高昂，專攻前段製程技術自研設備的業者甚少，包括國內首家量產ALD設備的天虹，以及專攻離子佈植設備的漢辰等。
圖／ 數位時代製作
相對的，後段的封測設備，則有較多台灣設備廠發展機會，並有不少PCB、面板設備業者轉型投入。像是台積電的CoWoS先進封裝、面板級扇出型封裝（FOPLP）及玻璃基板等，都是近年快速發展的重要技術。
責任編輯：謝宗穎
